苏州佳斯轩电子科技有限公司

苏州佳斯轩电子科技有限公司是一家以MEMS和化合物半导体GaAs微波集成电路（GaAs MMIC）器件设计与加工为主导产业的高科技公司，公司专注于微纳传感器、微机电系统（MEMS）、微纳制造和化合物半导体GaAs芯片等领域的研究、开发、生产和服务，是专业从事MEMS（微电子机械系统）传感器研究开发和制造的高科技企业，具有国际水平的微纳设计加工能力。可实现各类MEMS传感器的生产、封装、测试。开发的产品包含、非制冷红外探测器、压力传感器、微流控、气体传感器等MEMS传感器。化合物半导体GaAs集成电路产品包括应变式异质结面高迁移率晶体管(pHEMT)功率、低噪声和GaAs光导开关等芯片的加工服务。
公司专注 MEMS 工艺代工服务。提供 2-4-6 英寸 MEMS 晶圆加工工艺以及单步工艺加工服务，如光刻、热氧化、离子注入、RIE刻蚀（氧化硅/氮化硅/非晶硅）、PECVD、LPCVD（氧化硅/氮化硅）、磁控溅射、电子束蒸发、深硅刻蚀、退火、晶圆减薄和抛光、MOCVD生长GaAs、InP外延、电镀、切割、键合、硅基氧化硅和氮化硅膜厚量测、电阻和方块电阻量测、 SEM、XRD测试，同时按照客户要求，协助加工晶圆级样品等加工服务。
依托于国内的工艺设备，团队成员拥有丰富的 MEMS 加工和... [详细介绍]